전해연마 전문기업 - (주)정림이피

정밀세정

반도체, LCD, 유기EL, 첨단화학품, 고청점제약품 등의 제조공정에서 사용되는 각종장비 및 부품 표면에 피막형태, 파티컬형태, 흡착가스형태, 금속원자 및 이온형태, 흡착유기분자 형태 등르로 장비 및 부품 재질에 따라 전해연마, 전해세정 및 화학세정 등 각종 연마 세정기술을 체계적이고 복합적으로 오염물질을 제거하는 세정방법.

(주)정림이피 정밀세정 기준 (IC Test)

세정기준	음이온	농도	비고
1 LEVEL	F, CL,NO3, PO4, SO4	50 ppb 이하	Ion chromatography
2 LEVEL	F, CL, NO3, PO4, SO4	100 ppb 이하
3 LEVEL	F, CL, NO3, PO4, SO4	140 ppb 이하
4 LEVEL	F, CL, NO3, PO4, SO4	200 ppb 이하

(주)정림이피 정밀세정 성적서

F8-B호기 결과

시료번호	시료명	단위	정량한계	F	CI	NO3	PO4	SO4
262	①CENTER	㎕/L	10	불검출	불검출	불검출	불검출	불검출
263	②좌	㎕/L	10	불검출	불검출	불검출	불검출	불검출
264	③우	㎕/L	10	불검출	불검출	불검출	불검출	불검출
265	④Nozzle 부	㎕/L	10	불검출	불검출	14	불검출	불검출
266	⑤Ref	㎕/L	10	불검출	불검출	불검출	불검출	불검출

NOTE : 1) 불검출 = 검출되지 않음 (<정량한계)
2) 정량한계 = 분석 가능한 결과치
3) 분석기기 = 이온크로마토그래피(IC)

F8-B호기 결과

시료번호	시료명	단위	정량한계	Na
262	①CENTER	㎕/L	10	불검출
263	②좌	㎕/L	10	불검출
264	③우	㎕/L	10	불검출
265	④Nozzle 부	㎕/L	10	불검출
266	⑤Ref	㎕/L	10	불검출

NOTE : 1) 불검출 = 검출되지 않음 (<정량한계)
2) 정량한계 = 분석 가능한 결과치
3) 분석기기 = 유도결함플라즈마 질량분석기(ICP-MS)

시험성적서